无锡尚积半导体科技股份有限公司

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氧化钒薄膜沉积、 高真空吸气薄膜沉积、

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无锡尚积是一家国产薄膜沉积工艺和刻蚀工艺设备的生产制造商，专注于国产化率较低的半导体特色细分领域。近年来团队陆续开发了MEMS领域的氧化钒薄膜沉积、高真空吸气薄膜沉积；SiCPower领域HotAl，背金金属溅射和RF领域的溅射等核心技术，打破了国外公司垄断地位

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无 锡 尚 积 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 国 产 薄 膜 沉 积 工 艺 和 刻 蚀 工 艺 设 备 的 生 产 制 造 商 公 司 简 介 公 司 简 介 发 展 历 史 核 心 团 队 涉 及 业 务 P V D 设 备 P E C V D 设 备 E t c h 设 备 I C P C V D 设 备 服 务 支 持 招 聘 信 息 联 系 我 们 E N G L I S H M e n u M e n u A d v a n c e d C a p a b i l i t i e s , Y o u r T r u s t e d P a r t n e r 公 司 介 绍 无 锡 尚 积 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 是 一 家 专 业 研 发 、 生 产 半 导 体 国 产 自 研 设 备 的 厂 商 ， 主 营 设 备 包 括 金 属 溅 射 沉 积 ( P V D ) ， 加 强 型 等 离 子 化 学 气 相 沉 积 ( P E C V D ) ， 等 离 子 干 法 刻 蚀 ( E T C H ) 三 个 领 域 ， 服 务 于 为 全 球 的 功 率 器 件 ( P o w e r D e v i c e ) ， 微 机 电 系 统 ( M E M S ) 、 先 进 封 装 ( A d v a n c e d P a c k a g i n g ) 、 化 合 物 半 导 体 ( I I I V ) 、 射 频 ( R F ) 、 集 成 电 路 ( I C ) 客 户 。 设 备 具 备 优 异 的 重 复 性 和 稳 定 性 、 低 故 障 率 、 长 使 用 寿 命 、 易 操 作 维 修 。 得 到 客 户 的 广 泛 认 可 。 尚 积 半 导 体 的 氧 化 钒 ( V O x ) 薄 膜 沉 积 ， R F 领 域 薄 膜 电 阻 关 键 工 艺 如 氮 化 钽 ( T a N ) 等 薄 膜 沉 积 ， T C S A W S i O 2 薄 膜 沉 积 ， 高 真 空 吸 气 薄 膜 ( G e t t e r ) 沉 积 ， 技 术 参 数 均 超 越 进 口 设 备 ， 在 客 户 端 已 经 量 产 ， 市 占 率 遥 遥 领 先 。 在 功 率 器 件 市 场 ， 尚 积 半 导 体 正 面 H o t A l 设 备 填 孔 平 坦 化 能 力 优 异 ， 深 宽 比 做 到 3 : 1 ， 超 越 进 口 设 备 ； 背 面 金 属 溅 射 B S M 性 能 稳 定 ， 产 能 是 进 口 设 备 近 两 倍 。 特 别 是 在 S i C 领 域 ， 市 占 率 遥 遥 领 先 。 尚 积 半 导 体 在 I C 领 域 积 累 了 二 十 余 年 的 丰 富 经 验 ， 在 高 深 宽 比 填 孔 、 均 匀 性 优 化 、 应 力 控 制 、 薄 膜 的 多 样 性 及 复 杂 性 等 多 个 技 术 领 域 有 很 深 的 造 诣 。 尚 积 半 导 体 的 P E C V D 和 E T C H 设 备 在 M E M S 、 R F 、 P o w e r 等 领 域 可 以 替 代 进 口 设 备 ， 并 提 供 更 优 的 工 艺 解 决 方 案 。 价 值 观 尚 积 — — 尚 德 务 实 ， 积 极 进 取 ! 愿 景 成 为 世 界 一 流 的 半 导 体 真 空 设 备 及 先 进 工 艺 的 整 合 者 。 使 命 专 注 于 半 导 体 细 分 领 域 的 核 心 装 备 和 关 键 工 艺 解 决 方 亲 的 研 发 和 推 广 持 之 以 恒 的 追 求 创 新 与 卓 越 。 发 展 历 史 2 0 0 8 年 ， 团 队 进 入 M E M S 领 域 2 0 0 8 年 , 团 队 进 入 M E M S 领 域 , 开 发 出 氧 化 钒 薄 膜 溅 射 , 打 破 国 外 技 术 垄 断 ,   市 占 率 遥 遥 领 先 2 0 1 2 年 , 团 队 开 发 出 吸 气 薄 膜 溅 射 2 0 1 2 年 , 团 队 开 发 出 吸 气 薄 膜 溅 射 , 打 破 国 外 技 术 垄 断 , 成 为 该 工 艺 国 内 的 国 产 设 备 供 应 商 , 市 占 率 遥 遥 领 先 . 2 0 1 9 年 , 团 队 进 入 功 率 器 件 领 域 2 0 1 9 年 , 团 队 进 入 功 率 器 件 领 域 , 开 发 出 H o t A l 填 孔 工 艺 金 属 薄 膜 溅 射 , 成 为 该 工 艺 国 内 第 一 家 国 产 设 备 供 应 商 , 市 占 率 遥 遥 领 先 . 2 0 2 0 年 , 团 队 开 发 出 S i C 背 面 金 属 薄 膜 溅 射 2 0 2 0 年 , 团 队 开 发 出 S i C 背 面 金 属 薄 膜 溅 射 B S M , 成 为 该 工 艺 国 内 第 一 家 国 产 设 备 供 应 商 2 0 2 1 年 , 团 队 开 发 出 S i 背 面 金 属 薄 膜 溅 射 2 0 2 1 年 , 团 队 开 发 出 S i 背 面 金 属 薄 膜 溅 射 , 成 为 该 工 艺 国 内 少 有 的 国 产 设 备 供 应 商 , 性 能 优 于 国 内 友 商 . 2 0 2 1 年 , 团 队 开 发 出 R F 领 域 的 T a N L i f t O f f 薄 膜 溅 射 , 成 为 该 工 艺 国 内 少 有 的 国 产 设 备 供 应 商 2 0 2 2 年 , 团 队 开 发 出 滤 波 器 T C S A W 领 域 2 0 2 2 年 , 团 队 开 发 出 滤 波 器 T C S A W 领 域 的 H D S i O 2 薄 膜 溅 射 , 成 为 该 工 艺 国 内 少 有 的 国 产 设 备 供 应 商 2 0 2 4 年 , 团 队 开 发 出 3 0 0 m m P V D 和 C V D 2 0 2 4 年 , 团 队 开 发 出 3 0 0 m m P V D 和 C V D 核 心 团 队 尚 积 半 导 体 自 主 培 养 核 心 团 队 平 均 从 业 年 资 超 过 2 0 年 ， 长 期 深 耕 半 导 体 设 备 行 业 ， 有 海 内 外 工 作 背 景 ， 前 瞻 的 国 际 视 野 及 及 设 备 制 造 的 产 业 链 资 源 。 无 锡 尚 积 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 江 苏 省 ， 无 锡 市 新 吴 区 长 江 南 路 3 5 3 1 2 号 厂 房 S a l e s C e l l P h o n e : + 8 6 1 9 5 3 1 2 9 8 6 9 9 S a l e s E m a i l : s a l e s @ s j i s e m i . c o m 关 于 尚 积 公 司 介 绍 发 展 历 史 核 心 团 队 涉 及 业 务 P V D 设 备 P E C V D 设 备 E t c h 设 备 I C P C V D 设 备 扫 一 扫 ， 关 注 我 们 C o p y r i g h t © 2 0 2 3 无 锡 尚 积 半 导 体 科 技 股 份 有 限 公 司 A l l R i g h t s R e s e r v e d . S c r o l l t o t o p

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