上海恒益光学精密机械有限公司是中科院上海光机所的全资控股公司,主要从事超精密光学加工、精密机械加工以及光机电一体化产品的设计、制造与开发。
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哈尔滨恒信精密气浮科技有限公司超低频气浮隔振平台、超低频气浮隔振检测塔、气浮隔振独立单元、动载荷阻尼隔振空气弹簧、气浮隔振光学平台、精密气浮轴承、精密气浮导轨,并拥有定制类防微振工程设计、实施经验。成果广泛用于超精密光学加工及检测、光学测量、超精密加工及
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