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山 东 晶 升 电 子 科 技 有 限 公 司 山 东 晶 升 电 子 科 技 有 限 公 司 首 页 H o m e 关 于 我 们 N a v 产 品 展 示 N a v 招 贤 纳 士 N a v 媒 体 中 心 N a v 联 系 我 们 N a v 晶 升 资 料 库 主 营 产 品 氢 氧 化 钾 腐 蚀 炉 采 用 触 摸 屏 + P L C 控 制 方 式 ， 操 作 简 单 ， 工 艺 编 辑 和 历 史 数 据 可 以 进 行 记 录 和 导 出 ， 可 以 绘 制 温 度 实 时 曲 线 和 历 史 曲 线 。 P V T S I C 4 0 0 晶 体 炉 采 用 高 精 度 蝶 阀 和 质 量 流 量 计 控 制 炉 内 长 晶 压 力 ， 提 供 稳 定 的 长 晶 气 氛 。 尤 其 在 晶 体 生 长 压 力 下 最 高 可 达 到 ± 1 P a 的 控 压 精 度 。 L P E 氮 化 物 高 压 晶 体 生 长 炉 N a 助 溶 剂 液 相 外 延 生 长 2 4 英 寸 G a N 晶 片 ， 也 可 用 于 高 压 助 熔 剂 法 探 索 新 型 氮 化 物 晶 体 。 结 构 紧 凑 ， 可 采 用 并 排 布 局 ， 提 高 厂 房 利 用 率 。 可 兼 容 电 阻 或 感 应 加 热 热 场 。 可 配 备 多 个 加 热 器 独 力 控 制 ， 工 艺 调 试 窗 口 大 ， 便 于 同 时 控 制 轴 向 和 径 向 温 度 梯 度 。 电 阻 晶 体 炉 立 式 H V P E 高 生 长 速 率 、 低 缺 陷 密 度 。 横 向 纵 向 生 长 比 率 高 、 孔 洞 少 ， 可 以 生 长 大 面 积 厚 膜 。 籽 晶 粘 接 设 备 设 备 可 用 于 S i C , G a N 和 A L N 生 长 前 籽 晶 粘 接 ， 也 可 用 于 上 述 晶 体 机 械 加 工 中 粘 接 。 企 业 荣 誉 上 一 页 1 2 下 一 页 公 司 简 介 C O M P A N Y P R O F I L E 山 东 晶 升 电 子 科 技 有 限 公 司 坐 落 于 泉 城 济 南 ， 是 一 家 专 注 于 宽 禁 带 半 导 体 装 备 研 发 和 生 产 的 高 新 技 术 企 业 ， 2 0 2 4 年 评 为 省 级 专 精 特 新 企 业 。 研 发 覆 盖 半 导 体 装 备 研 制 、 长 晶 工 艺 ， 已 形 成 系 列 自 主 知 识 产 权 ， 实 现 先 进 技 术 自 主 可 控 。 致 力 成 为 行 业 宽 禁 带 半 导 体 关 键 装 备 供 应 商 ， 并 在 济 南 市 长 清 区 建 设 了 宽 禁 带 半 导 体 装 备 制 造 场 地 。 主 要 推 广 产 品 为 第 三 代 半 导 体 ， 第 四 代 半 导 体 高 端 装 备 ， 包 括 用 于 氧 化 镓 生 长 的 卤 化 物 气 相 外 延 （ H V P E ） 设 备 、 导 模 法 晶 体 炉 、 氧 化 镓 垂 直 布 里 奇 曼 晶 体 生 长 炉 。 M O R E 新 闻 资 讯 N e w s i n f o r m a t i o n 碳 化 硅 外 延 技 术 0 1 . 碳 化 硅 外 延 外 延 工 艺 是 整 个 产 业 中 的 一 种 非 常 关 键 的 工 艺 ， 由 于 现 在 所 有 的 器 件 基 本 上 都 是 在 外 延 上 实 现 ， 所 以 外 延 的 质 量 对 器 件 的 性 能 是 影 响 是 非 常 大 的 ， 但 是 外 延 的 质 量 它 又 受 到 晶 体 和 衬 底 。 加 工 的 影 响 ， 处 在 一 个 产 业 的 中 间 环 节 ， 对 产 业 的 发 展 起 到 非 常 关 键 的 作 用 。 碳 化 硅 功 率 器 件 与 传 统 硅 功 率 器 件 制 作 工 艺 不 同 ， 不 能 直 接 制 作 在 碳 化 硅 单 晶 材 料 上 ， 必 须 在 导 通 型 单 晶 衬 底 上 额 外 生 长 高 质 量 的 外 延 材 料 ， 并 在 外 延 层 上 制 造 各 类 器 件 . . . 2 0 1 7 0 6 2 2 第 三 代 半 导 体 材 料 之 碳 化 硅 （ S i C ） 第 三 代 半 导 体 材 料 之 碳 化 硅 （ S i C ） ‍ 碳 化 硅 （ S i C ） 材 料 是 功 率 半 导 体 行 业 主 要 进 步 发 展 方 向 ， 用 于 制 作 功 率 器 件 ， 可 显 着 提 高 电 能 利 用 率 。 可 预 见 的 未 来 内 ， 新 能 源 汽 车 是 碳 化 硅 功 率 器 件 的 主 要 应 用 场 景 。 特 斯 拉 作 为 技 术 先 驱 ， 已 率 先 在 M o d e l 3 中 集 成 全 碳 化 硅 模 块 ， 其 他 一 线 车 企 亦 皆 计 划 扩 大 碳 化 硅 的 应 用 。 随 着 碳 化 硅 器 件 制 造 成 本 的 日 渐 降 低 、 工 艺 技 术 的 逐 步 成 熟 ， 碳 化 硅 功 率 器 件 行 业 未 来 可 期 。 【 什 么 是 碳 化 硅 ? 】 碳 化 硅 . . . 2 0 1 7 0 6 2 2 第 四 代 半 导 体 材 料 ？ 氧 化 镓 首 先 我 们 先 了 解 下 * * 代 和 第 三 代 半 导 体 情 况 ： 1 . * * 代 半 导 b a i 体 材 料 主 要 是 指 硅 （ S i ） 、 锗 d u 元 素 （ G e ） 半 导 体 z h i 材 料 。 作 为 * * 代 半 导 体 材 料 的 锗 和 硅 ， d a o 在 国 际 信 息 产 业 技 术 中 的 各 类 分 立 器 件 和 应 用 极 为 普 遍 的 集 成 电 路 、 电 子 信 息 网 络 工 程 、 电 脑 、 手 机 、 电 视 、 航 空 航 天 、 各 类 军 事 工 程 和 迅 速 发 展 的 新 能 源 、 硅 光 伏 产 业 中 都 得 到 了 极 为 广 泛 的 应 用 ， 硅 芯 片 在 人 类 社 会 的 每 一 个 角 落 无 不 闪 烁 着 它 的 光 辉 。 2 . 第 二 代 半 . . . 2 0 1 7 0 6 2 2 联 系 我 们 欢 迎 您 的 加 入 ， 我 们 共 创 辉 煌 集 研 发 、 设 计 、 生 产 、 销 售 为 一 体 的 知 名 半 导 体 设 备 品 牌 ， 我 们 致 力 于 为 用 户 提 供 实 用 性 与 审 美 性 兼 具 的 产 品 。 这 个 愿 景 希 望 与 你 一 起 完 成 ， 联 系 电 话 1 3 0 0 6 5 8 6 3 1 3 ， 1 8 3 7 5 4 1 7 8 1 6 联 系 客 服 来 宾 姓 名 * 来 宾 电 话 1 1 ) v a l u e = v a l u e . s l i c e ( 0 , 1 1 ) o n k e y p r e s s = j a v a s c r i p t : r e t u r n F a i . i s P h o n e N u m b e r K e y ( e v e n t ) ; d a t a l o t t e r y P h o n e = p h o n e I n p u t c l a s s = g _ i t e x t p h o n e _ n u m b e r J _ p h o n e I n p u t > * 来 宾 地 址 * 来 宾 内 容 * 马 上 提 交 Q Q ： 3 6 2 2 5 7 9 8 3 0                 联 系 电 话 ： 1 3 0 0 6 5 8 6 3 1 3               联 系 邮 箱 ： 1 8 3 7 5 4 1 7 8 1 6 @ 1 6 3 . c o m                 联 系 地 址 ： 济 南 市 长 清 区 玉 清 路 南 段 2 2 2 2 号 长 清 国 际 企 业 港 1 0 号 楼 © 2 0 2 5 山 东 晶 升 电 子 科 技 有 限 公 司 版 权 所 有 手 机 版 | 本 站 使 用 凡 科 建 站 搭 建 | 管 理 登 录 | 鲁 I C P 备 2 0 2 2 0 1 4 7 4 8 号 1 | 本 站 支 持  

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