苏州爱拓利电子设备有限公司

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气体流量计、 流量控制器、 气体质量流量控制器、 流量显示仪、 多路流量显示仪、 皂膜气体流量标准装置、 气密性测漏仪、

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爱拓利精准流量测控AITOLYINSTRUMENTS由苏州爱拓利电子设备有限公司及无锡爱拓利电子科技有限公司组成。总部苏州爱拓利位于苏州市吴江区柳胥路99号半导体智能制造创新港。分公司无锡爱拓利成立于2017年，位于无锡新吴区清源路20号大学科技园。爱拓利精准流量测控AITOLYINSTRUMENTS，专业从事气体质量流量测量与控制。爱拓利拥有自己的研发团队，具有高水平的产品设计、结构、硬件和软件等研发能力，是国内少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业，更是国内极少数能够自主研发生产气体流量计及流量控制器核心部件（高精度气体流量传感器和高稳定性微型比例阀）的气体流量控制产品生产厂家。

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苏 州 爱 拓 利 电 子 设 备 有 限 公 司 E N 产 品 中 心 M F C 3 0 0 0 3 A M F C 3 0 0 0 3 D M F C 3 3 0 0 5 E M F C 3 3 0 0 5 S M F M 3 3 0 流 量 显 示 仪 多 路 流 量 显 示 仪 皂 膜 气 体 流 量 标 准 装 置 气 密 性 测 漏 仪 应 用 领 域 半 导 体 行 业 光 伏 行 业 真 空 镀 膜 行 业 生 命 科 学 行 业 燃 料 电 池 行 业 生 物 发 酵 行 业 元 素 分 析 仪 器 技 术 服 务 支 持 服 务 指 南 知 识 库 下 载 专 区 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 新 闻 关 于 我 们 公 司 简 介 发 展 历 程 专 利 与 荣 誉 合 作 伙 伴 招 贤 纳 士 公 司 福 利 员 工 风 采 岗 位 招 聘 联 系 我 们 中 E N 首 页 产 品 中 心 M F C 3 0 0 0 3 A M F C 3 0 0 0 3 D M F C 3 3 0 0 5 E M F C 3 3 0 0 5 S M F M 3 3 0 流 量 显 示 仪 多 路 流 量 显 示 仪 皂 膜 气 体 流 量 标 准 装 置 气 密 性 测 漏 仪 应 用 领 域 半 导 体 行 业 光 伏 行 业 真 空 镀 膜 行 业 生 命 科 学 行 业 燃 料 电 池 行 业 生 物 发 酵 行 业 元 素 分 析 仪 器 技 术 服 务 支 持 服 务 指 南 知 识 库 下 载 专 区 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 新 闻 关 于 我 们 公 司 简 介 发 展 历 程 专 利 与 荣 誉 合 作 伙 伴 招 贤 纳 士 公 司 福 利 员 工 风 采 岗 位 招 聘 联 系 我 们 专 注 于 微 小 气 体 流 量 测 量 与 控 制 S p e c i a l i s i n g i n s m a l l g a s f l o w m e a s u r e m e n t a n d c o n t r o l 了 解 更 多 全 面 国 产 化 的 全 制 程 自 主 可 控 自 研 自 制 率 1 0 0 % 自 研 自 制 率 1 0 0 % 了 解 更 多 超 快 响 应 体 积 小 巧 安 装 方 式 灵 活 C o m p a c t s i z e a n d f l e x i b l e i n s t a l l a t i o n 了 解 更 多 P r o d u c t s 产 品 中 心 M F C 3 0 0 0 3 A 系 列 气 体 质 量 流 量 控 制 器 M F C 3 0 0 0 3 D 系 列 气 体 质 量 流 量 控 制 器 M F C 3 3 0 0 5 E 系 列 气 体 质 量 流 量 控 制 器 M F C 3 3 0 0 5 S 系 列 气 体 质 量 流 量 控 制 器 M F M 3 3 0 系 列 气 体 质 量 流 量 计 流 量 显 示 仪 系 列 流 量 显 示 仪 多 路 流 量 显 示 仪 系 列 流 量 显 示 仪 皂 膜 气 体 流 量 标 准 装 置 系 列 气 密 性 测 漏 仪 系 列 A r e a s O f A p p l i c a t i o n 应 用 领 域 半 导 体 行 业 在 制 造 半 导 体 芯 片 的 绝 缘 层 （ 如 二 氧 化 硅 薄 膜 ） 时 ， 常 用 的 化 学 气 相 沉 积 方 法 是 使 用 硅 烷 （ S i H ₄ ） 和 氧 气 （ O ₂ ） 作 为 反 应 气 体 。 气 体 质 量 流 量 控 制 器 （ M F C ） 精 确 控 制 硅 烷 和 氧 气 的 流 量 ， 确 保 它 们 以 准 确 的 比 例 进 入 反 应 室 。 这 对 于 生 成 高 质 量 、 均 匀 的 二 氧 化 硅 薄 膜 至 关 重 要 。 因 为 薄 膜 的 厚 度 、 成 分 和 质 量 直 接 影 响 半 导 体 器 件 的 性 能 ， 如 绝 缘 性 能 和 电 子 迁 移 特 性 。 了 解 更 多 光 伏 行 业 在 P E C V D 过 程 中 ， 需 要 精 确 配 比 反 应 气 体 ， 如 硅 烷 （ S i H ₄ ） 、 氨 气 （ N H ₃ ） 等 。 气 体 质 量 流 量 控 制 器 M F C 能 够 准 确 测 量 和 控 制 这 些 气 体 的 流 量 ， 确 保 薄 膜 的 厚 度 、 均 匀 性 和 光 电 性 能 达 到 理 想 状 态 ， 从 而 提 高 光 伏 电 池 的 转 换 效 率 和 稳 定 性 。 P V D （ 物 理 气 相 沉 积 ） ： P V D 过 程 中 ， 也 需 要 对 各 种 反 应 气 体 进 行 精 确 控 制 。 气 体 质 量 流 量 控 制 器 可 以 根 据 工 艺 要 求 ， 稳 定 地 提 供 所 需 的 气 体 流 量 ， 保 证 沉 积 薄 膜 的 质 量 和 性 能 ， 满 足 光 伏 电 池 的 生 产 需 求 。 了 解 更 多 真 空 镀 膜 行 业 在 蒸 发 镀 膜 过 程 中 ， 如 采 用 电 阻 加 热 、 电 子 束 加 热 等 方 式 使 镀 膜 材 料 蒸 发 ， 然 后 沉 积 在 基 底 表 面 。 气 体 质 量 流 量 控 制 器 （ M F C ） 用 于 精 确 控 制 真 空 腔 内 的 工 艺 气 体 流 量 。 例 如 ， 在 镀 铝 膜 时 ， 氩 气 常 作 为 保 护 气 体 和 辅 助 气 体 引 入 。 M F C 精 确 控 制 氩 气 流 量 ， 能 防 止 蒸 发 的 铝 原 子 在 飞 行 过 程 中 被 氧 化 ， 确 保 铝 膜 的 纯 度 和 质 量 。 了 解 更 多 生 命 科 学 行 业 在 生 物 发 酵 过 程 中 ， 微 生 物 的 生 长 和 代 谢 对 气 体 环 境 非 常 敏 感 。 气 体 质 量 流 量 控 制 器 可 精 确 控 制 氧 气 、 氮 气 和 二 氧 化 碳 等 气 体 的 供 应 ， 确 保 发 酵 罐 内 气 体 环 境 的 稳 定 性 和 一 致 性 ， 从 而 提 高 发 酵 效 率 和 产 品 质 量 。 例 如 ， 在 抗 生 素 发 酵 生 产 中 ， 通 过 精 确 控 制 氧 气 流 量 ， 可 使 发 酵 过 程 中 的 溶 氧 水 平 保 持 在 预 设 范 围 内 ， 促 进 抗 生 素 的 合 成 。 了 解 更 多 燃 料 电 池 行 业 精 确 控 制 反 应 气 体 供 应 ： 在 燃 料 电 池 测 试 过 程 中 ， 需 要 精 确 控 制 氢 气 和 氧 气 （ 或 空 气 ） 等 反 应 气 体 的 流 量 。 气 体 质 量 流 量 控 制 器 （ M F C ） 可 以 根 据 测 试 要 求 ， 精 确 地 将 氢 气 以 特 定 的 流 量 输 送 到 燃 料 电 池 的 阳 极 ， 将 氧 气 或 空 气 输 送 到 阴 极 。 了 解 更 多 生 物 发 酵 行 业 氧 气 供 应 ： 在 好 氧 发 酵 过 程 中 ， 微 生 物 需 要 充 足 的 氧 气 来 进 行 呼 吸 作 用 。 气 体 质 量 流 量 控 制 器 （ M F C ） 可 以 精 确 地 控 制 进 入 发 酵 罐 的 氧 气 流 量 。 例 如 ， 在 酵 母 菌 发 酵 生 产 乙 醇 的 过 程 中 ， 通 过 M F C 将 氧 气 流 量 控 制 在 合 适 的 范 围 ， 能 确 保 酵 母 菌 的 有 氧 呼 吸 阶 段 顺 利 进 行 ， 为 后 续 的 无 氧 发 酵 产 生 乙 醇 提 供 足 够 的 能 量 和 中 间 产 物 。 一 般 来 说 ， 根 据 发 酵 罐 的 大 小 、 酵 母 菌 的 浓 度 和 发 酵 阶 段 等 因 素 ， M F C 可 以 将 氧 气 流 量 控 制 在 每 分 钟 几 升 到 几 十 升 不 等 。 了 解 更 多 元 素 分 析 仪 器 化 学 反 应 气 体 控 制 ： 在 一 些 特 殊 的 元 素 分 析 方 法 中 ， 会 涉 及 到 化 学 反 应 气 体 。 例 如 ， 在 化 学 发 光 氮 测 定 仪 中 ， 用 于 分 析 样 品 中 的 总 氮 含 量 时 ， 需 要 通 过 M F C 控 制 氧 气 的 流 量 。 氧 气 与 样 品 中 的 氮 化 合 物 反 应 产 生 化 学 发 光 信 号 ， M F C 精 确 控 制 氧 气 流 量 可 以 调 节 反 应 的 速 率 和 程 度 ， 从 而 准 确 地 测 量 氮 元 素 的 含 量 。 一 般 来 说 ， M F C 可 以 将 氧 气 流 量 控 制 在 5 0 1 5 0 m L / m i n ， 确 保 化 学 反 应 在 合 适 的 条 件 下 进 行 。 了 解 更 多 半 导 体 行 业 光 伏 行 业 真 空 镀 膜 行 业 生 命 科 学 行 业 燃 料 电 池 行 业 生 物 发 酵 行 业 元 素 分 析 仪 器 a b o u t u s 关 于 我 们 专 注 于 微 小 气 体 流 量 测 量 与 控 制 A I T O L Y 爱 拓 利 品 牌 创 立 于 2 0 1 2 年 ， 是 专 业 研 制 热 式 、 层 流 差 压 式 质 量 流 量 计 / 控 制 器 的 中 国 制 造 商 ， 研 发 和 制 造 精 准 可 靠 的 气 体 流 量 测 量 和 控 制 仪 表 。 爱 拓 利 在 苏 州 （ 总 部 ） 和 无 锡 两 地 设 有 制 造 基 地 和 研 发 中 心 ， 自 建 高 标 准 无 尘 车 间 和 自 动 化 的 生 产 检 测 平 台 . . . 了 解 更 多 s i n c e 2 0 1 2 年 专 利 及 荣 誉 3 0 + 合 作 客 户 3 0 0 0 + 爱 拓 利 精 准 流 量 测 控 了 解 更 多 n e w s 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 新 闻 2 0 2 4 1 2 0 2 奋 战 四 季 度 | 爱 拓 利 ： 让 “ 卡 脖 子 ” 技 术 实 现 国 产 替 代 ！ 在 现 代 工 业 的 宏 大 版 图 中 ， 仪 器 仪 表 无 疑 是 照 亮 前 行 之 路 的 眼 睛 ， 而 流 体 测 控 及 其 核 心 零 部 件 的 品 质 与 技 术 高 度 ， 更 是 如 同 精 密 齿 轮 ， 直 接 决 定 着 半 导 体 等 先 进 制 造 业 的 运 转 效 率 和 精 度 。 “ 这 是 我 们 自 主 研 发 的 M F C 3 3 0 系 列 气 体 质 量 流 量 计 / 控 制 器 ， 可 以 用 于 半 导 体 、 光 伏 、 真 空 镀 膜 、 生 命 科 学 、 燃 料 电 池 、 高 精 度 分 析 仪 器 、 石 化 、 制 气 、 医 疗 、 食 品 、 工 业 自 动 化 控 制 等 行 业 。 ” 1 1 月 2 6 日 ， 苏 州 爱 拓 利 电 子 设 备 有 限 公 司 （ 以 下 简 称 “ 爱 拓 利 ” 了 解 更 多 2 0 2 4 1 1 2 7 《 流 体 测 控 ， 开 拓 未 来 新 篇 — — 苏 州 爱 拓 利 荣 耀 启 航 》 在 现 代 工 业 的 宏 大 版 图 中 ， 仪 器 仪 表 无 疑 是 照 亮 前 行 之 路 的 眼 睛 。 而 流 体 测 控 及 其 核 心 零 部 件 的 品 质 与 技 术 高 度 ， 更 是 如 同 精 密 齿 轮 ， 直 接 决 定 着 半 导 体 等 先 进 制 造 业 的 运 转 效 率 和 精 度 。 2 0 2 4 年 1 1 月 2 6 日 上 午 ， 吴 江 经 济 开 发 区 半 导 体 智 能 制 造 创 新 港 内 ， 一 场 盛 大 的 开 业 典 礼 在 此 璀 璨 启 幕 ， 主 角 便 是 苏 州 爱 拓 利 电 子 设 备 有 限 公 司 。 爱 拓 利 公 司 始 终 专 注 于 流 体 流 量 精 准 测 量 和 控 制 产 品 的 研 发 和 生 产 ， 拥 有 具 备 完 全 自 主 知 识 产 权 的 流 体 测 控 产 品 、 了 解 更 多 2 0 2 4 0 9 3 0 爱 拓 利 纯 纯 中 国 心 爱 拓 利 坐 落 于 江 南 水 乡 的 苏 州 ， 以 创 新 为 翼 ， 以 品 质 为 基 。 这 里 汇 聚 了 一 群 怀 揣 梦 想 与 激 情 的 科 技 精 英 ， 我 们 用 智 慧 和 汗 水 ， 铸 就 了 苏 州 爱 拓 利 的 辉 煌 篇 章 。 在 质 量 流 量 测 控 研 发 的 道 路 上 ， 爱 拓 利 始 终 坚 定 前 行 ， 致 力 于 半 导 体 ， 光 伏 等 核 心 器 件 的 国 产 化 ， 勇 敢 地 打 响 攻 坚 战 。 我 们 深 知 ， 只 有 掌 握 核 心 技 术 ， 才 能 在 激 烈 的 市 场 竞 争 中 立 于 不 败 之 地 。 凭 借 着 顽 强 的 毅 力 和 不 懈 的 努 力 ， 爱 拓 利 逐 步 突 破 技 术 壁 垒 ， 让 半 导 体 ， 光 伏 的 国 产 核 心 器 件 绽 放 出 耀 眼 光 了 解 更 多 2 0 2 4 0 8 1 3 爱 拓 利 完 成 天 使 轮 融 资 苏 州 爱 拓 利 电 子 设 备 有 限 公 司 （ 爱 拓 利 A I T O L Y ） 是 一 家 质 量 流 量 计 和 控 制 器 的 专 业 研 发 制 造 商 。 爱 拓 利 专 注 于 微 小 流 量 测 量 与 控 制 ， 拥 有 完 全 自 主 知 识 产 权 的 传 感 器 、 高 精 度 比 例 阀 等 ， 研 发 生 产 的 质 量 流 量 计 及 流 量 控 制 器 ， 在 工 业 和 科 学 领 域 已 稳 定 运 行 十 数 年 。 近 日 ， 苏 州 爱 拓 利 电 子 设 备 有 限 公 司 宣 布 成 功 完 成 天 使 轮 融 资 。 本 轮 融 资 由 同 运 创 投 领 投 ， 时 代 伯 乐 、 茵 联 资 本 等 多 家 知 名 投 资 机 构 跟 投 ， 标 志 着 爱 拓 利 在 质 量 流 量 测 控 领 域 的 发 展 迈 上 了 了 解 更 多 2 0 2 4 1 1 1 4 气 体 流 量 计 的 测 量 范 围 和 精 度 如 何 ？ 气 体 流 量 计 可 适 用 于 氧 气 、 氮 气 、 天 然 气 等 多 种 不 同 气 体 的 流 量 测 量 。 其 测 量 范 围 广 泛 ， 通 常 包 括 不 同 的 流 速 和 管 径 。 例 如 ， 某 些 气 体 流 量 计 的 流 速 范 围 可 达 0 . 3 ~ 3 0 m / s ， 管 径 范 围 可 从 D N 5 0 至 D N 3 0 0 。 此 外 ， 不 同 型 号 的 气 体 流 量 计 可 能 具 有 不 同 的 较 小 和 较 大 测 量 范 围 ， 用 户 需 根 据 实 际 需 求 选 择 适 合 的 型 号 。 了 解 更 多 2 0 2 4 1 2 0 3 热 式 流 量 计 的 优 势 和 适 用 行 业 热 式 流 量 计 有 以 下 几 种 优 势 ： 1 、 专 有 流 量 数 据 模 型 算 法 ； 模 糊 理 论 操 控 温 度 、 湿 度 算 法 ； 2 、 高 性 能 智 能 微 处 理 器 及 模 数 、 数 模 转 换 芯 片 ； 3 、 直 接 丈 量 质 量 流 量 ， 无 须 温 压 补 偿 ； 4 、 低 流 速 丈 量 十 分 灵 敏 ； 5 、 设 计 、 选 型 方 便 ， 装 置 、 使 用 简 便 ； 6 、 适 合 各 类 单 一 或 混 合 气 体 流 量 丈 量 。 热 式 流 量 计 应 用 场 合 ： 公 用 工 程 电 ﹑ 气 ﹑ 水 处 理 的 监 控 管 道 的 气 体 ； 通 用 体 系 ； 沼 气 ； 煤 气 ； ： 烟 道 烟 气 ： 气 ； 液 化 气 ； 锅 炉 预 热 空 气 石 油 与 气 工 业 能 量 了 解 更 多 2 0 2 4 1 1 1 6 气 体 流 量 计 的 原 理 及 介 绍 气 体 流 量 计 既 可 进 体 流 量 计 量 作 业 ， 也 可 用 于 进 程 操 控 。 它 引 进 技 能 出 产 ， 无 须 温 压 补 偿 ， 直 接 测 出 流 体 的 质 量 流 量 。 它 的 突 出 特 点 是 ： 没 有 可 动 部 件 ； 压 力 丢 失 小 ； 量 程 比 宽 ； 性 高 ； 安 装 简 单 ， 操 作 便 利 。 气 体 流 量 计 选 用 热 扩 散 原 理 ， 热 扩 散 技 能 是 一 种 在 苛 刻 条 件 下 功 能 优 良 、 性 高 的 技 能 。 其 典 型 传 感 元 件 包 含 两 个 热 电 阻 （ 铂 R T D ） ， 一 个 是 速 度 传 感 器 ， 一 个 是 主 动 补 偿 气 体 温 度 改 变 的 温 度 传 感 器 。 当 两 个 R T D 被 置 了 解 更 多 2 0 2 4 1 1 1 2 气 体 流 量 计 的 测 量 范 围 和 精 度 如 何 ？ 气 体 流 量 计 可 适 用 于 氧 气 、 氮 气 、 天 然 气 等 多 种 不 同 气 体 的 流 量 测 量 。 其 测 量 范 围 广 泛 ， 通 常 包 括 不 同 的 流 速 和 管 径 。 例 如 ， 某 些 气 体 流 量 计 的 流 速 范 围 可 达 0 . 3 ~ 3 0 m / s ， 管 径 范 围 可 从 D N 5 0 至 D N 3 0 0 。 此 外 ， 不 同 型 号 的 气 体 流 量 计 可 能 具 有 不 同 的 较 小 和 较 大 测 量 范 围 ， 用 户 需 根 据 实 际 需 求 选 择 适 合 的 型 号 。 了 解 更 多 咨 询 热 线 ： 4 0 0 8 9 1 9 8 8 6 邮 箱 ： s a l e s @ a i t o l y . c o m 地 址 ： 苏 州 市 吴 江 区 柳 胥 路 9 9 号 半 导 体 智 能 制 造 创 新 港 产 品 中 心 M F C 3 0 0 0 3 A M F C 3 0 0 0 3 D M F C 3 3 0 0 5 E M F C 3 3 0 0 5 S M F M 3 3 0 流 量 显 示 仪 应 用 领 域 半 导 体 行 业 光 伏 行 业 真 空 镀 膜 行 业 生 命 科 学 行 业 燃 料 电 池 行 业 生 物 发 酵 行 业 . . . 技 术 服 务 支 持 服 务 指 南 知 识 库 下 载 专 区 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 新 闻 关 于 我 们 公 司 简 介 发 展 历 程 专 利 与 荣 誉 合 作 伙 伴 招 贤 纳 士 公 司 福 利 员 工 风 采 岗 位 招 聘 官 网 微 信 公 众 号 产 品 中 心 M F C 3 0 0 0 3 A M F C 3 0 0 0 3 D M F C 3 3 0 0 5 E M F C 3 3 0 0 5 S M F M 3 3 0 流 量 显 示 仪 多 路 流 量 显 示 仪 皂 膜 气 体 流 量 标 准 装 置 气 密 性 测 漏 仪 应 用 领 域 半 导 体 行 业 光 伏 行 业 真 空 镀 膜 行 业 生 命 科 学 行 业 燃 料 电 池 行 业 生 物 发 酵 行 业 元 素 分 析 仪 器 技 术 服 务 支 持 服 务 指 南 知 识 库 下 载 专 区 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 新 闻 关 于 我 们 公 司 简 介 发 展 历 程 专 利 与 荣 誉 合 作 伙 伴 招 贤 纳 士 公 司 福 利 员 工 风 采 岗 位 招 聘 联 系 我 们 C o p y r i g h t © 苏 州 爱 拓 利 电 子 设 备 有 限 公 司 版 权 所 有 网 站 建 设 备 案 号 ： 苏 I C P 备 2 0 2 4 1 4 0 6 4 6 号 1 法 律 声 明 / 隐 私 声 明 /

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